半导体行业-SECS/GEM协议,C#编写secs-gem 所需SxFy

SECS/GEM和GEM300作为SEMI标准的一部分，分别是针对200毫米和300毫米晶圆制造的标准规范。特别是GEM300这标准协议，涉及到自动化加工，是FAB厂必不可少的东西。

SECS/GEM标准主要包含协议：E4、E5、E30、E37

300毫米标准GEM300包含标准：E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94、E116

近俩年12寸的晶圆厂建设比例逐年上升，国内对12寸的设备需求度越来越多，然而12寸设备必须要支持GEM300标准。

半导体设备要想支持GEM300标准存在一些挑战。特别是没有做过300mm晶圆设备的开发或者做过GEM300，与现有SECS/GEM标准相比，300mm标准困难度提高许多。

经过十多年发展，国内SECS/GEM和GEM300也已经跟国际的效果做到一样了。

作为代表性的SECS/GEM和GEM300， 金南瓜的GEM300及其GEM200备受瞩目。

金南瓜GEM300基于GEM200基础之上，增加了对300mm制程场景的支持。GEM200的设备无需做任何修改基础，只需增加GEM300的处理，完美SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准，内部集成管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。

Stream    Function    Message Name    Description

Sx    F0    Abort Transaction    H E

S1    F1    Are You There Request    H E

S1    F2    On Line Data    H E

S1    F3    Selected Equipment Status Request    H --> E

S1    F4    Selected Equipment Status Data    H E

S1    F12    Status Variable Namelist Reply    H E

S1    F16    OFF-LINE Acknowledge    H E

S1    F18    ON-LINE Acknowledge    H E

S1    F22    Data Variable Namelist    H E

S1    F24    Collection Event Namelist    H E

S2    F14    Equipment Constant Data    H E

S2    F16    New Equipment Constant Acknowledge    H E

S2    F18    Date and Time Data    H E

S2    F24    Trace Initialize Acknowledge    H E

S2    F30    Equipment Constant Namelist    H E

S2    F32    Date and Time Set Acknowledge    H E

S2    F34    Define Report Acknowledge    H E

S2    F36    Link Event Report Acknowledge    H E

S2    F38    Enable/Disable Event Report Acknowledge    H E

S2    F42    Host Command Acknowledge    H E

S5    F4    Enable/Disable Alarm Acknowledge    H E

S5    F6    List Alarm Data    H E

S5    F8    List Enabled Alarm Data    H E

S6    F16    Event Report Data    H E

S6    F18    Annotated Event Report Data    H E

S6    F20    Individual Report Data    H E

S6    F22    Annotated Individual Report Data    H E

S7    F18    Delete Process Program Acknowledge    H E

S7    F20    Current EPPD Data    H